真空绝热阀

摘要

〔发明课题〕本发明系提供一种能够在高温状态下使用于气体的供给系统或排气系统，并且藉由优良的绝热性大幅地使其小型、简化的真空绝热阀。〔课题解决手段〕于具备有阀本体和引动器的阀；及收纳该阀用的真空绝热箱所形成的真空绝热阀中，上述真空绝热箱(S)是由上面为开放且在侧面配备着筒状真空绝热配管接受部(J)的角形下部真空外套(S5)；及对该下部真空外套(S5)是从上方嵌合成气密其下面为开放的角形上部真空外套(S4)所形成。