曝光装置

摘要

一种曝光装置，包括一玻璃、一滚轴式薄膜光罩，以及一曝光系统。玻璃系可于一基台上以一预定方向移动，而滚轴式薄膜光罩则与玻璃相隔，且滚轴式薄膜光罩具有一图案。曝光系统发射一紫外光至滚轴式薄膜光罩之一表面，使滚轴式薄膜光罩之图案转移至玻璃上。