| 摘要 |
本发明提供一种可简洁且确实抽出歧管之空气，并且不产生涂布不匀之细缝喷嘴以及具有其之涂布处理装置。本发明之细缝喷嘴41于两侧端部具备抗蚀剂液之供给口46a、46b，并以歧管45之上面45a于排气孔47之端部47a与供给口46a及46b之间具有倾斜之方式形成。藉由该形状，混入于所填充之抗蚀剂液的气泡可易于自排气孔47排出。又，抗蚀剂液系自供给口46a及46b侧向排气孔47流动，因此，不会产生抗蚀剂液之滞留，可以短时间确实施行填充时之排气。再者，于涂布处理中，由于抗蚀剂液之黏度不产生局部性之差异，因此可形成均一之涂布膜。 |
