低多分散性感光聚合物与光阻及微影制程

摘要

本发明系关于用于光成像与光阻组合物之低多分散性共聚物，并关于使用这些组合物之光成像制程。可使用受控自由基聚合(CRP)方法(例如，RAFT(可逆加成裂片链转移)聚合反应)制备本发明低多分散性共聚物。