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发明名称
用于包含数个腔之涂层设备的能量与介质连接模组
摘要
本发明关于一种用于涂层设备之能量与介质连接模组。该模组用于供应冷却水、压缩空气、处理气体、信号、控制及阴极电力。其可由单人在短时间内自一个涂覆腔沿涂料管线移至另一个涂覆腔。此外,为了维护或置换目的,可自涂覆腔分离能量连接模组,而不必机械上卸除所有之连接模组。
申请公布号
TW200526798
申请公布日期
2005.08.16
申请号
TW093114602
申请日期
2004.05.24
申请人
应用薄膜两合股份有限公司
发明人
盖多哈登朶夫;葛特洛林;葛哈德里斯特
分类号
C23C14/34
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
何金涂;林荣琳
主权项
地址
德国
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