基板处理装置及基板处理装置之管理方法

摘要

本发明于基板处理装置中对各动作部进行种种保养作业。于装置空间侧面的既定位置设置门，在各扇门设置联锁开关。于各门附近设置联锁解除部，其用来将联锁开关的功能设成无效，使装置空间内各动作部中特定动作部的电源成为断开状态，维持其他动作部的电源于接通状态。于装置空间侧面的既定位置设置再动作命令部，其用来使藉由联锁解除部的操作成为断开状态的特定动作部的电源成为接通状态。