改良之聚焦环用之方法与设备

摘要

一种聚焦环组件，用以被耦合至一电浆处理系统中之一基板支座，其包含具有一个或更多决定聚焦环寿命所用之磨损指示部，其中该聚焦环至该基板支座之该耦合辅助电浆处理系统中之聚焦环的自动定心。例如架置于基板支座上之定心环可包含用以与该聚焦环上之一配合特征部耦合之一定心特征部。