摘要 |
一种薄型光罩或蒸镀罩的制造方法,系由于该金属薄板材料是薄且软,因此该金属薄板材料首先必须经过张网舖平的程序以维持该金属薄板材料表面平整度,之后并在于金属薄板材料的底部结合一硬式的框架,等到结合硬式框架后,利用一治具上、下夹持、压平该金属薄板材料,并再使用雷射点焊而确实将该金属薄板材料与其底部之框架焊固,以利于后续该金属薄板材料制作成光罩或蒸镀罩之雷射切割作业,待薄型光罩或蒸镀罩制作完成后,由于缩小了光罩的厚度,因此可减少了蒸镀时的发散死角,藉此之薄型光罩或蒸镀罩可用于有机发光二极体,TFT LCD等光电产业之高解析镀膜所用。 |