二维位置控制方法及二维位置控制装置

摘要

本发明提供一种以最小的振动频率快速执行二维位置控制的二维位置控制方法。该方法包括：振动分布于在预定的二维平面上基本限定范围中的至少或是分布于预定二维平面上的基本范围中的空间传播能量，或者能量输入的的能量输入系统，从而使在其中的二维平面上相对运动形成的轨迹是椭圆的步骤；检测在椭圆轨迹上的至少两对点处的能量的步骤；以及计算各自对点处的检测到的能量之间的差别的步骤，从而检测能量和在二维平面上的能量输入装置之间的位移。