基材支撑衬套

摘要

一种用来支撑在处理室内之一基材的设备被提供。在一态样中，一基材支撑件被提供，该基材支撑件包含一壳体其具有一穿通它的孔，一支撑销其至少部分地设置在该孔内及复数个轴承件，它们被设置在该壳体周围。在一态样中，该等轴承件包含一滚子其具有一孔穿通它，一轮廓的(contoured)外表面，及一轴其至少部分地设置成穿过该孔。在另一态样中，该等轴承件包含一球组件其包含一较大的球形件及四个被安排在该较大的球形件周围之较小的球形件。