无滴落喷管装置

摘要

根据本发明之一态样，本发明提供了一种用于一晶圆处理装置之分配头。该分配头可包含一入口、至少一出口、一排放口，及一穿过其中且与通道该入口、该出口与该排放口互连之通道。该入口可位于该通道之底部上方之一第一高度处，该出口可位于该底部上方之一第二高度处，且该排放口可位于该底部上方之一第三高度处。一第一阀可连接至该入口，且一第二阀可连接至该排放口。当该第一阀打开且该第二阀关闭时，流体流入该入口且自该出口流出。当该第二阀打开且该第一阀关闭时，流体自该通道流出该排放口。一泵可连接至该排放口。