检视系统和装置

摘要

本发明系揭示一种用以识别于材料表面的缺陷或污染之方法与系统。该种方法与系统系涉及：提供一材料，诸如一个半导体晶圆；运用一非振动式接点电位差感测器，以扫描该晶圆；产生接点电位差资料；及，处理该资料，以识别该缺陷或污染之一型态特性。