微影投射装置,制造电子装置的方法及基板,以及制得之电子装置

摘要

本发明揭示一种微影投射装置，像是一晶圆步进机，用以形成一图案在一基板或晶圆上，该装置包含一(光化)辐射或光源(2)；照明光学元件(4)，用以引导来自该光源的光线到一遮罩(6)上；及投影光学元件(8)，用以引导来自该遮罩之绕射辐射或光线到要被成像的该基板／晶圆，其中一光学过滤器(9)系配置在该投影光学元件的下游处，及一可成像基板(7)具有一光学过滤器(9)位在要被成像的那一侧上。