图案描绘装置

摘要

本发明为一种图案描绘装置1，其具备保持基板9的载台单元3、朝X方向移动载台单元3的载台移动机构2、水银灯512、具有快门开口的快门、具有复数遮罩组开口的遮罩组以及朝X方向移动快门的朝X方向移动机构，且对导引通过快门开口及遮罩组开口的光的光照射区域进行扫描以描绘图案。于图案描绘装置1中，在图案描绘开始点附近及描绘结束点附近，快门以和载台单元3的移动速度相等的移动速度朝X方向移动，变更光照射区域的长度，调整图案端部的累积光量，使之与图案上其他部位的累积光量相等。