摘要 |
一种提供一在一容室中之一气体的绝对压力量测之延伸范围的方法,其系包括有:量测介于在容室中之气体与大气间的差异压力,用以提供一个所量测之差异压力值;量测在容室中之气体的绝对压力,以提供一个所量测之绝对容室压力值;建立一个交界压力准位;当所量测之绝对容室压力值系为小于该交界压力准位之时,决定在容室中之绝对压力为相等于所量测之绝对容室压力;当所量测之绝对压力值系为大于该交界压力准位之时,决定在容室中之绝对压力为相等于一个标准的差异压力,包括有藉由将一相关系数加至所量测之差异容室压力值来决定标准的差异压力,其中,该相关系数系相等于所量测之绝对容室压力减去所量测之差异容室压力值。 |