载入锁技术

摘要

本发明揭示一载入锁系统，具有该载入锁系统的曝光设备，和载入锁方法。在一较佳形式中，载入锁系统包括室外壳，及用以改变室外壳容量之容量改变系统。载入锁方法包括以下步骤： 运送物体到室外壳内，在运送步骤之后减少室外壳容量，及在容量减少步骤之后减少室内压力。