金属镶嵌制程

摘要

一种相移光罩至少包括透明基材，此透明基材上形成有图案化之不透光材料层，而形成此透明基材之非传递区与透明基材之邻近之传递区。凹陷形成于透明基材之传递区中。此凹陷具有阶梯状侧壁，藉以提升相移光罩之光学性能。此相移光罩之制作可运用自我对准法