清理基板用之设备及方法

摘要

本发明系关于一用以处理基板之设备，其包含一延伸一长度之刷子外罩。上述刷子外罩配置于基板之表面上方，且具有一配置于邻近基板处之开放区域。上述开放区域以刷子外罩之长度加以延伸，使来自于刷子外罩中之清理泡沫得以接触基板之表面。本发明亦说明一基板清理系统与用以清理基板之方法。