邻近刷子单元设备及方法

摘要

一种用于在一晶圆上产生潮湿区及相对应之乾燥区的设备。一邻近刷子单元以一可旋转之刷子传送流体以在晶圆上产生潮湿区。当邻近刷子单元以选择之扫描方法移动跨越晶圆时，复数通孔在晶圆上产生乾燥区。此外，可旋转之刷子配置于邻近刷子单元内可藉由机械齿轮或磁浮而旋转。产生该潮湿区及乾燥区之该选择之扫描方法以种种方法移动该邻近刷子单元，包含放射扫描、直线扫描、螺旋扫描及光栅扫描。为了更进一步地在选择之扫描方法进行时产生乾燥区，该配置在邻近刷子单元之表面之复数通孔系位于该邻近刷子单元及该晶圆之后缘。