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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG MIT MEHREREN BRENNERN UND MEHREREN TARGETS ZUR PLASMA-CVD AUF DER AUSSENFLÄCHE
摘要
申请公布号 AT299841(T) 申请公布日期 2005.08.15
申请号 AT20020713726T 申请日期 2002.03.06
申请人 FIBERCORE, INC. 发明人 GOUSKOV, MIKHAIL, I.;DANILOV, EVGUENIE, B.;ASLAMI, MOHD, A.;WU, DAU
分类号 C03B37/018;C03B37/014;C03B37/027;(IPC1-7):C03B37/014 主分类号 C03B37/018
代理机构 代理人
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