发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR BESCHICHTUNG VON SUBSTRATEN
摘要
申请公布号 AT301204(T) 申请公布日期 2005.08.15
申请号 AT20010929385T 申请日期 2001.03.01
申请人 SCHOTT AG 发明人 DANIELZIK, BURKHARD;KUHR, MARKUS;MOEHL, WOLFGANG
分类号 G02B1/10;C23C16/511;H01J37/32;(IPC1-7):C23C16/511 主分类号 G02B1/10
代理机构 代理人
主权项
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