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发明名称
摘要
申请公布号	JP2005524233(A)	申请公布日期	2005.08.11
申请号	JP20040500339	申请日期	2002.04.26
申请人		发明人
分类号	H01L21/331;H01L29/10;H01L29/737;H01L31/0328;(IPC1-7):H01L21/331	主分类号	H01L21/331
代理机构		代理人
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