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Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Ansteuern eines Heterodyn-Interferometers mit zwei in getrennten Lichtwegen angeordneten akustooptischen Modulatoren, einem Empfänger, welcher ein Analogsignal erzeugt, und einem nachgeschalteten A/D-Wandler, der das Analogsignal in ein Digitalsignal wandelt, bei dem der eine akustooptische Modulator mit einer Modulationsfrequenz f¶1¶ und der andere akustooptische Modulator mit einer anderen Modulationsfrequenz f¶2¶ angesteuert werden, die Differenz der Modulationsfrequenzen f¶1¶ und f¶2¶ eine Heterodynfrequenz f¶Het¶ bildet und die Umwandlung des Analogsignals in das Digitalsignal im A/D-Wandler mit der Abtastfrequenz f¶a¶ erfolgt. DOLLAR A Bei einem solchen Heterodyn-Interferometer wird ein festes Verhältnis der Modulationsfrequenzen eingehalten und diese können sich nicht durch Alterung und Drift gegeneinander verschieben, indem zumindest zwei der Frequenzen aus den Modulationsfrequenzen f¶1¶, f¶2¶ und der Abtastfrequenz f¶a¶ aus einer Grundfrequenz f¶Quarz¶ eines gemeinsamen Oszillators gebildet werden. DOLLAR A Weiterhin kann hierdurch erreicht werden, dass die Abtastfrequenz f¶a¶ in einem festen Phasenverhältnis zur Differenzfrequenz der Modulationsfrequenzen f¶1¶, f¶2¶ der Heterodynfrequenz f¶Het¶ steht. Die Messgenauigkeit wird erhöht, da die Abtastung unabhängig von Drift und Alterung bei konstanter Phase erfolgt.
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