| 发明名称 |
Apparatus for working materials by means of a beam of charged particles |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US2944172(A) |
申请公布日期 |
1960.07.05 |
| 申请号 |
US19590836226 |
申请日期 |
1959.08.26 |
| 申请人 |
CARL ZEISS |
发明人 |
OPITZ WOLFGANG;SPRUCK HELMUT;STEIGERWALD KARL HEINZ |
| 分类号 |
B23K15/00;H01J37/09;H01J37/16;H01J37/30;H01J37/301;H01J37/304 |
主分类号 |
B23K15/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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