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发明名称 Vorrichtung zur Erzeugung von Plasma mit hoher Dichte
摘要
申请公布号 DE60021167(D1) 申请公布日期 2005.08.11
申请号 DE20006021167 申请日期 2000.04.05
申请人 PLASMA QUEST LTD., HOOK 发明人 THWAITES, MICHAEL JOHN
分类号 H01J37/32;H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
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