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发明名称 PULSED ION BEAM CONTROL OF SOLID STATE FEATURES
摘要
申请公布号 EP1560786(A1) 申请公布日期 2005.08.10
申请号 EP20030816305 申请日期 2003.10.28
申请人 THE PRESIDENT AND FELLOWS OF HARVARD COLLEGE 发明人 GOLOVCHENKO, JENE, A.;STEIN, DEREK M.;LI, JIALI
分类号 B81B1/00;B81C99/00;(IPC1-7):B81B1/00;B81C5/00;H01L21/66 主分类号 B81B1/00
代理机构 代理人
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