发明名称 具有嵌入在背面金刚石层中的元件的半导体器件
摘要 一种半导体衬底,在其正面具有集成电路,在其背面具有(比如金刚石)高热导材料层,在所述高导热材料层中嵌入元件,比如电容器,这些元件通过穿过衬底的通路被耦合到正面的集成电路。
申请公布号 CN1653611A 申请公布日期 2005.08.10
申请号 CN03811350.3 申请日期 2003.03.19
申请人 英特尔公司 发明人 达米昂·瑟尔斯;普拉替克·杜贾里;连斌
分类号 H01L23/373;H01L23/64 主分类号 H01L23/373
代理机构 北京英特普罗知识产权代理有限公司 代理人 齐永红
主权项 1.一种装置,包括:具有正面和背面的半导体衬底,在所述正面上可以制作有源器件层;耦合到所述半导体衬底背面的金刚石导热层;被嵌入在所述金刚石导热层中的背面元件;以及将所述背面元件电连接到所述半导体衬底正面的通路。
地址 美国加利福尼亚州