发明名称 | 具有嵌入在背面金刚石层中的元件的半导体器件 | ||
摘要 | 一种半导体衬底,在其正面具有集成电路,在其背面具有(比如金刚石)高热导材料层,在所述高导热材料层中嵌入元件,比如电容器,这些元件通过穿过衬底的通路被耦合到正面的集成电路。 | ||
申请公布号 | CN1653611A | 申请公布日期 | 2005.08.10 |
申请号 | CN03811350.3 | 申请日期 | 2003.03.19 |
申请人 | 英特尔公司 | 发明人 | 达米昂·瑟尔斯;普拉替克·杜贾里;连斌 |
分类号 | H01L23/373;H01L23/64 | 主分类号 | H01L23/373 |
代理机构 | 北京英特普罗知识产权代理有限公司 | 代理人 | 齐永红 |
主权项 | 1.一种装置,包括:具有正面和背面的半导体衬底,在所述正面上可以制作有源器件层;耦合到所述半导体衬底背面的金刚石导热层;被嵌入在所述金刚石导热层中的背面元件;以及将所述背面元件电连接到所述半导体衬底正面的通路。 | ||
地址 | 美国加利福尼亚州 |