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发明名称
摘要
申请公布号 JP3682305(B2) 申请公布日期 2005.08.10
申请号 JP19930318732 申请日期 1993.12.17
申请人 发明人
分类号 H01L21/28;H01L21/82;H01L27/10;H01L27/112;H01L29/88;(IPC1-7):H01L29/88 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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