发明名称
摘要
申请公布号 JP3682245(B2) 申请公布日期 2005.08.10
申请号 JP20010203712 申请日期 2001.07.04
申请人 发明人
分类号 C23C22/00;B05D7/14;B23K35/14;B23K35/40;C23C22/73;C23C26/00;H01L23/12;H05K3/34;(IPC1-7):H01L23/12 主分类号 C23C22/00
代理机构 代理人
主权项
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