电解液微弧等离子合成碳氮化钛厚膜的方法

摘要

本发明公开了一种电解液微弧等离子合成碳氮化钛厚膜的方法，即在由60－90wt％的乙醇胺和40－10wt％的甲酰胺配制的电解液中，以钛或钛合金为阴极、不锈钢为阳极，采用脉冲电源在电压为450－650V、频率为50－500Hz、占空比为10－40％、阴阳极板间距为8－12cm的条件下对钛或钛合金进行微弧等离子处理，维持电解液温度在25－70℃，微弧等离子处理1－3小时，即可在钛或钛合表层生成厚度大于10μm的碳氮化钛膜。所合成的碳氮化钛厚膜与钛或钛合金之间无界面，呈微米级多孔结构，具有高的结合强度，硬度高于1500Hv，在润滑条件下其耐磨性优于物理气相沉积(PVD)和等离子增强化学气相沉积(PCVD)等技术制备的碳氮化钛膜。

主权项

1、电解液微弧等离子合成碳氮化钛厚膜的方法，其特征在于：在由60-90wt％的乙醇胺和40-10wt％的甲酰胺配制的电解液中，以钛或钛合金为阴极、不锈钢为阳极，采用脉冲电源在电压为450-650V、频率为50-500Hz、占空比为10-40％、阴阳极板间距为8-12cm的条件下对钛或钛合金进行微弧等离子处理，维持电解液温度在25-70℃，微弧等离子处理时间为1-3小时，即可在钛或钛合表层生成厚度大于10μm的碳氮化钛膜。