用于圆片制造设备预简化的设施连接斗

摘要

提供一种与支撑装置一起用于支撑制造设备的设施连接定位器。该设施连接定位器包括：流体密封斗，该斗具有底表面、从底表面向上延伸的多个侧壁和适合于将流体密封斗安装到支撑装置以便于流体密封斗相对于支撑装置在x、y和z轴中具有固定位置的安装机构。该设施连接定位器还包括流体连接口，并可以包括由流体密封冒口环绕的真空连接口。真空管道连接可以穿过真空连接口延伸并可以具有离该连接的顶表面以预定距离设置的定位凸缘，以便将该定位凸缘到该冒口的耦接来相对于该冒口的顶部固定真空管道连接的高度。

主权项

1.一种设施连接定位器，其与支撑装置一起用于支撑制造设备，该设施连接定位器包括：流体密封斗，其具有：底表面；多个从该底表面向上延伸的侧壁；安装机构，其适合于将该流体密封斗安装到所述支撑制造设备的支撑装置，而使得该流体密封斗在x轴、y轴和z轴上均相对于该支撑装置具有固定位置；和至少一个在该流体密封斗中形成的流体连接口。