一种薄膜晶体管与液晶显示器的制造方法

摘要

本发明提供一种薄膜晶体管的制造方法，首先在基板上形成一图案化介电层，然后在基板上形成一金属层，并覆盖图案化介电层。接着对金属层进行一平坦化步骤，直到暴露出图案化介电层的表面，其中保留下来的金属层即是栅极。之后，在图案化介电层与栅极上形成栅绝缘层，并且在栅极上方的栅绝缘层上形成半导体层。最后，在半导体层上形成源极以及漏极。本发明因采用镶嵌工序替代现有技术中光刻与刻蚀的工序，增加金属层的材质选择性。此外，在薄膜晶体管的制造过程中使用镶嵌工序，便能采用电阻值较低的金属，因而提高了薄膜晶体管以及应用此薄膜晶体管的液晶显示器的效能。

主权项

1.一种薄膜晶体管的制造方法，其特征在于包括：在一基板上形成一第一图案化介电层；在所述基板上形成一第一金属层，并覆盖所述第一图案化介电层；对所述第一金属层进行一平坦化步骤，直到所述第一图案化介电层表面暴露出，其中保留下来的所述第一金属层就是一栅极；在所述第一图案化介电层与所述栅极上形成一栅绝缘层；在所述栅极上方的所述栅绝缘层上形成一半导体层；以及在该半导体层上形成一源极以及一漏极。