| 发明名称 |
PROCESS FOR USING PROTECTIVE LAYERS IN THE FABRICATION OF ELECTRONIC DEVICES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1561151(A2) |
申请公布日期 |
2005.08.10 |
| 申请号 |
EP20030781961 |
申请日期 |
2003.11.14 |
| 申请人 |
E.I. DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY |
发明人 |
KIM, YOUNG, H. |
| 分类号 |
G03F7/00;G03F7/004;G03F7/039;G03F7/11;(IPC1-7):G03F7/039;H01L23/00 |
主分类号 |
G03F7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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