发明名称 | 将材料涂布于对象上的装置与方法 | ||
摘要 | 一种将材料涂布于对象上的装置。第一腔室具有维持在惰性气体的环境。第二腔室具有可在惰性气体与空气之间切换的环境。连接通道连接第一腔室与第二腔室。第一可开启与关闭门设置在第一腔室与第二腔室之间。第二可开启与关闭门设置在第二腔室上。第一夹持具设置在第一腔室中,第一夹持具可拆卸的夹持涂布器。第二夹持具设置在第二腔室中,第二夹持具可拆卸的夹持涂布器。移动台设置在第二腔室中,将填满材料、且由第二夹持具所夹持的涂布器,经由连接通道从第二腔室移至第一腔室。移动台将结束材料的涂布、且由第二夹持具所夹持的涂布器,经由连接通道从第一腔室移至第二腔室。 | ||
申请公布号 | CN1651154A | 申请公布日期 | 2005.08.10 |
申请号 | CN200510001603.4 | 申请日期 | 2005.01.24 |
申请人 | 株式会社东芝 | 发明人 | 植松义尊 |
分类号 | B05C5/00 | 主分类号 | B05C5/00 |
代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王学强 |
主权项 | 1.一种将材料涂布于对象上的装置,其特征在于包括:一第一腔室,具有惰性气体的气体环境;一第二腔室,具有可在惰性气体与空气之间切换的气体环境;一通道,连接该第一腔室与该第二腔室;一第一门,设置在该第一腔室与该第二腔室之间,且可在第一位置与第二位置之间动作;一第二门,设置在该第二腔室上以提供从该装置外侧至该第二腔室的途径,且可在第一位置与第二位置之间动作;一第一夹持具,设置在该第一腔室中,该第一夹持具包括可移动的夹持一涂布器的结构;一移动台,可穿过该第二门,并可穿过该连接通道而在该第一腔室与该第二腔室间移动;以及一第二夹持具,设置在该台上,该第二夹持具包括可移动的夹持一涂布器的结构。 | ||
地址 | 日本东京都 |