氮化物半导体元件

摘要

一种低电阻、具有可靠性优良的电极结构的氮化物半导体元件，在半导体层上，具有欧姆接触的第1电极及连接在其上面的、由不同于第1电极的形状构成的第2电极，其特征在于：第1电极和上述第2电极具有由形成第1电极表面的第1电极的上层和沉积在热处理后的第1电极上的第2电极的下层构成的接合层区，接合层区由铂族元素构成。

主权项

1.一种氮化物半导体元件，在半导体层上具有欧姆接触的第1电极及连接在其上面的、由不同于上述第1电极的形状构成的第2电极，其特征在于：设置所述第1电极的半导体层表面具有电极形成区域和绝缘膜形成区域，所述第2电极从所述电极形成区域被覆到绝缘膜形成区域。