电容式压力感测元结构及制造方法

摘要

本发明有关一种电容式压力感测元结构及制造方法。其结构包括：一固定下电极板固定于一基底层上，一浮动上电极板悬浮于固定下电极板的上方，两电极板之间的间隙形成一平行板感测电容；具有一中间部分及一周边部分的一第一介电层罩覆基底层及两电极板，其周边部分中形成有电连接至浮动上电极板的数个上金属栓塞柱；一上金属复合层形成于周边部分上并电连接至该等上金属栓塞柱；保护层覆盖于周边部分及上金属复合层上；蚀刻窗孔贯通第一介电层及浮动上电极板并与间隙连通，且由一封口栓塞柱封住。本发明的电容式压力感测元结构可以有效减少复合式浮动结构的厚度，藉以提升感测效果。

主权项

1.一种电容式压力感测元结构，其特征在于包括：一基底层，其中形成有多个下金属栓塞柱；一固定下电极板，固定于基底层上，并电连接至所述下金属栓塞柱；一浮动上电极板，悬浮于固定下电极板的上方，用以与固定下电极板形成一平行板感测电容；一间隙，位于固定下电极板与浮动上电极板之间；一第一介电层，罩覆所述基底层、固定下电极板、浮动上电极板及间隙，该第一介电层具有中间部分及周边部分，周边部分中形成有电连接至浮动上电极板的多个上金属栓塞柱；一上金属复合层，形成于第一介电层的周边部分上，并电连接至所述上金属栓塞柱；一保护层，覆盖于第一介电层的周边部分及所述上金属复合层上；多个蚀刻窗孔，贯通第一介电层及浮动上电极板，该等蚀刻窗孔位于第一介电层的中间部分的边缘，并与间隙连通；一封口栓塞柱，用以封住所述蚀刻窗孔。