基板除尘装置

摘要

本发明提供一种基板除尘装置，它可以吸引并除去利用旋转的旋转毛刷辊从基板表面上刮下的几乎全部的尘埃。其特征在于，将相互向相反方向旋转的前后两个旋转毛刷辊20沿横切基板10的方向压接到搭载在输送机上被搬运的基板10的表面上。同时，利用该旋转的旋转毛刷辊20，将附着在基板10表面上的尘埃，从基板10的表面上刮下，使该尘埃漂浮在两个旋转毛刷辊20之间，或者附着在所述两个旋转毛刷辊20上。同时，将这些尘埃通过连续地覆盖两个旋转毛刷辊20的上部周围的除尘装置的集尘口92，吸引到除尘装置90的内侧，并排除。

主权项

1、一种基板除尘装置，其特征在于，包括：基板搬运用输送机；沿横切基板的方向压接到搭载在该输送机上被搬运的基板表面上，且相互接近地排列的前后两个旋转毛刷辊；以压接到该两个旋转毛刷辊的基板表面侧的辊部分指向两个旋转毛刷辊之间的内侧分别旋转的方式，使两个旋转毛刷辊相互向相反方向旋转的旋转装置；具有连续地覆盖前述两个旋转毛刷辊的上部周围的集尘口的除尘装置，通过前述集尘口吸引漂浮在所述两个旋转毛刷辊之间的尘埃及附着在所述两个旋转毛刷辊上的尘埃，并将其排除的除尘装置。