发明名称 半导体器件的电容器、存储器件及其制造方法
摘要 本发明提供了一种电容器、包括该电容器的存储器件,以及制造该电容器和该存储器件的方法。该电容器包括下电极,形成在下电极上的介质膜,以及形成在介质膜上的上电极,该下电极是由贵金属合金构成的单层。
申请公布号 CN1652336A 申请公布日期 2005.08.10
申请号 CN200510056566.7 申请日期 2005.01.26
申请人 三星电子株式会社 发明人 申尚旻;具俊谟;金锡必;赵重来
分类号 H01L27/10;H01L21/82;H01L21/28;H01L21/31 主分类号 H01L27/10
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 陶凤波;侯宇
主权项 1.一种电容器,其包括:下电极,该下电极为由贵金属合金构成的单层;形成在所述下电极上的介质膜;以及形成在所述介质膜上的上电极。
地址 韩国京畿道