发明名称 | 自动循环式管路系统 | ||
摘要 | 一种自动循环式管路系统,其中包含多个主管路、多个循环管路以及多个控制阀。多个主管路是以并联方式排列以用来抽取流体,且一端连接于共同的入口上,而另一端连接于共同的出口上。每一主管路上装有一单向阀、一泵及一循环管路,循环管路的两端分别接在相对于单向阀前、后位置的前连接点及后连接点上,以及在每一循环管路上装设一控制阀。此管路系统藉由循环管路的作用,使原本停滞于未使用的主管路内部的流体能经由循环管路产生自动循环,避免劣化现象发生,以维持管路内部流体的纯净度。 | ||
申请公布号 | CN1651813A | 申请公布日期 | 2005.08.10 |
申请号 | CN200410003593.3 | 申请日期 | 2004.02.03 |
申请人 | 矽统半导体股份有限公司 | 发明人 | 陈建清 |
分类号 | F17D1/14;H01L21/00 | 主分类号 | F17D1/14 |
代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 任永武 |
主权项 | 1.一种自动循环式管路系统,包含:多个主管路,是以并联方式排列,该多个主管路的两端分别连接于共同的一入口及一出口上,且每一该主管路中包含一进水阀、一泵、一单向阀及一排水阀;多个循环管路,每一该循环管路的一端连接于每一该单向阀前方的一前连接点上,而另一端连接于每一该单向阀后方的一后连接点上;及多个控制阀,是以一对一的方式,装设于该多个循环管路上。 | ||
地址 | 台湾省新竹科学园区研新一路16号 |