| 发明名称 | 压电薄膜器件及其制造方法 | ||
| 摘要 | 一种压电薄膜器件包括设置在衬底上的非晶态金属膜和设置在非晶态金属膜上的压电膜。压电膜的一个晶轴在垂直于非晶态金属的表面的方向上对齐。 | ||
| 申请公布号 | CN1652458A | 申请公布日期 | 2005.08.10 |
| 申请号 | CN200510006851.8 | 申请日期 | 2005.01.28 |
| 申请人 | 株式会社东芝 | 发明人 | 佐野贤也;尾原亮一;梁濑直子;安本恭章;板谷和彦;川久保隆;丰田启;莲沼正彦;长野利彦;阿部和秀;西垣亨彦;柴田浩延 |
| 分类号 | H03H9/15 | 主分类号 | H03H9/15 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 王以平 |
| 主权项 | 1.一种压电薄膜器件，包括：设置在衬底上面的非晶态金属膜；和设置在非晶态金属上的压电膜，并且所述压电膜的一个晶轴在与非晶态金属的表面垂直的方向上对齐。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||