等离子体辅助连接

摘要

本发明提供了用于一个或多个部件的等离子体辅助连接的方法和装置。连接过程可包括例如在腔中相互接近地放置至少第一和第二连接区域，在等离子体催化剂存在的情况下，通过使气体受到电磁辐射在所述腔内形成等离子体，以及维持所述等离子体至少直到所述第一和第二连接区域被连接。本发明还提供了用于激发、调节和维持连接等离子体的等离子体催化剂、方法和装置。本发明还提供了用于选择性等离子体连接的其它腔形状、方法和装置。

主权项

1.一种连接至少第一部件的第一连接区域和第二部件的第二连接区域的方法，该方法包括：在腔中相互接近地放置至少第一和第二连接区域；在等离子体催化剂存在的情况下，通过使气体受到频率小于约333GHz的电磁辐射，在所述腔内形成等离子体；以及通过将辐射引入所述腔来维持所述等离子体至少直到所述第一和第二连接区域被连接。