| 发明名称 | 使用集成电路致动器的空间光调制器及其制造和使用方法 | ||
| 摘要 | 空间光调制器(SLM)包括可以利用光刻技术或其它类似技术制造的集成电路致动器。该致动器包括致动器单元，可以由压电材料构成该致动器单元。电极阵列连接到致动器单元的两个侧壁。每个电极阵列可以具有一个或者多个电极部分。反射器件阵列构成SLM。 | ||
| 申请公布号 | CN1651968A | 申请公布日期 | 2005.08.10 |
| 申请号 | CN200410057970.1 | 申请日期 | 2004.08.27 |
| 申请人 | ASML控股股份有限公司 | 发明人 | 普拉迪普·K·戈维尔;詹姆斯·G·查考耶尼斯 |
| 分类号 | G02B26/08;G02F1/00;G03F7/20;H01L21/00 | 主分类号 | G02B26/08 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 蒋世迅 |
| 主权项 | 1、一种微光电机械系统(MOEMS)集成电路空间光调制器，该空间光调制器包括：反射器件阵列；集成电路致动器，连接到衬底，该集成电路致动器具有致动器单元阵列；以及第一电极阵列和第二电极阵列，连接到致动器单元的两侧。 | ||
| 地址 | 荷兰费尔德霍芬 | ||