发明名称 METHOD FOR PROCESSING A THIN FILM IN A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20050079316(A) 申请公布日期 2005.08.10
申请号 KR20040007495 申请日期 2004.02.05
申请人 MAGNACHIP SEMICONDUCTOR, LTD. 发明人 JEONG, JONG YEUL;YOON, IL YOUNG
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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