发明名称 GROWTH METHOD OF ALUMINUM-CONTAINING NITRIDE SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 KR100506739(B1) 申请公布日期 2005.08.08
申请号 KR20030095170 申请日期 2003.12.23
申请人 发明人
分类号 C30B29/38;H01L21/20;C30B23/00;C30B25/02;C30B25/04;C30B29/40;H01L33/32;H01L33/34;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 C30B29/38
代理机构 代理人
主权项
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