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发明名称
EQUIPMENTS FOR LIGHT EXPOSURE FOR LARGE SUBSTRATE
摘要
申请公布号
KR20050078409(A)
申请公布日期
2005.08.05
申请号
KR20040005838
申请日期
2004.01.29
申请人
SAMSUNG SDI CO., LTD.
发明人
JHANG, CHAN YOUNG
分类号
H01J9/20;(IPC1-7):H01J9/20
主分类号
H01J9/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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