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发明名称 POLISHING APPARATUS AND THE POLISHING METHOD USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR100506934(B1) 申请公布日期 2005.08.05
申请号 KR20030001690 申请日期 2003.01.10
申请人 发明人
分类号 H01L21/304;B24B1/00;B24B37/005;B24B37/30;B24B49/16;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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