发明名称 STABILISATION DE SURFACE DE VERRE DE SILICE RICHE EN SILICIUM PAR L'UTILISATION D'UN DELAI POST DEPOT ACCRU
摘要
申请公布号 FR2797998(B1) 申请公布日期 2005.08.05
申请号 FR20000011157 申请日期 2000.08.28
申请人 MITEL CORPORATION 发明人 FORTIN VINCENT
分类号 H01L21/3105;H01L21/314;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/3105
代理机构 代理人
主权项
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