BATCH-TYPE DEPOSITION APPARATUS HAVING A GLAND PORTION,申请号KR20040005866-传众专利搜索

发明名称	BATCH-TYPE DEPOSITION APPARATUS HAVING A GLAND PORTION
摘要
申请公布号	KR20050078436(A)	申请公布日期	2005.08.05
申请号	KR20040005866	申请日期	2004.01.29
申请人	SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.	发明人	HWANG, KYOUNG HWAN;KIM, JIN SUNG;OK, CHANG HYUK;WOO, JAI YOUNG;CHOI, MIN HO
分类号	H01L21/205;C23C16/00;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/458;(IPC1-7):H01L21/205	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
主权项
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