处理机中半导体器件传送装置

摘要

一种半导体测试处理机中的半导体器件传送装置，它能简化用来改变拾取半导体器件的拾取器的结构以及快速、精确改变拾取器。该半导体器件传送装置包括：可活动地装在处理机本体上的长方形架；分别装在两长方形架相邻内表面上的两线性电动机的定子；两线性电动机的可沿定子运动的动子；一固定在两架之间、两线性电动机汇合处内转角上、拾取半导体器件的基准拾取件；分别与两线性电动机的动子连接、沿长方形架运动的第一和第二拾取件；固定在第一拾取件上、与其上装有第二拾取件的长方形架平行的第一引导件；固定在第二拾取件上、与第一引导件垂直的第二引导件以及与第一和第二引导件连接、随第一和第二拾取件的运动沿第二和第一引导件运动的第三拾取件。

主权项

1.一种处理机中的半导体器件传送装置，其特征在于，该传送装置包括：可活动地装在处理机本体上的两个长方形架；分别装在所述两长方形架相邻内表面上的两线性电动机的定子；两所述线性电动机的可沿所述定子运动的动子；一固定在所述两架之间、两所述线性电动机汇合处内转角上、拾取半导体器件的基准拾取件；分别与两所述线性电动机的动子连接、沿所述长方形架运动的第一和第二拾取件；固定在所述第一拾取件上、与其上装有所述第二拾取件的所述长方形架平行的第一引导件；固定在所述第二拾取件上、与所述第一引导件垂直的第二引导件；与所述第一和第二引导件连接、随所述第一和第二拾取件的运动沿所述第二和第一引导件运动的第三拾取件；以及在所述线性电动机开动时通过检测所述第一和第二拾取件的位移控制所述线性电动机的所述动子的移动的控制装置。