发明名称 Apparatus for Cleaning mold for production of semiconductor
摘要
申请公布号 KR100506010(B1) 申请公布日期 2005.08.03
申请号 KR20030005575 申请日期 2003.01.28
申请人 发明人
分类号 H01L21/56;(IPC1-7):H01L21/56 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
地址
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